溫濕度調節裝置在基板曝光前，能有效維持其表面溫度的均一性。經過此設備處理后的空氣，溫度控制精度可達目標值±0.01℃，充分滿足制程環境對溫控的要求。

半導體用溫控裝置產品廣泛應用于國內外科學研究和工藝開發、新能源汽車、生物技術、醫藥行業、航空航天、半導體、醫療技術等行業。

半導體溫控裝置溫度控制裝置 可從高溫300℃直接制冷降溫,低溫可達-150℃,控溫精度0.5℃智能型控溫,性能穩定,應用于石化,醫藥,生化,凍干,軍工等高科技行業……