芯片半導體專用冷水機

芯片半導體專用冷水機設備簡介

PTHC系列高低溫動態控溫系統主要由制冷系統、循環系統、控制系統、箱體等組成。制冷系統采用蒸汽壓縮式制冷，循環系統包括循環泵、電加熱器、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、循環管道等組成。控制系統采用PID控制技術，高清觸摸屏顯示，設有多項保護功能，確保設備安全運行。通過機組自身的制冷與加熱，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。

芯片半導體專用冷水機設備特點

全密閉系統：采用全密閉式系統設計，整個循環管路只有加液蓋上留出的呼吸孔，導熱油不會直接與空氣接觸，延長了導熱油使用壽命同時確保系統運行的穩定性，膨脹油箱始終保持在常溫狀態，高溫時無油霧產生，低溫不會結霜。

控溫系統：自主開發的溫度控制模塊，改變控制設定的方法，能夠盡快的響應過程中系統的滯后，得到最小的溫度過沖。控制由兩組PID（每組PID是可變的）控制回路構成，這兩組控制回路成為主回路和從回路，主回路的控制輸出作為從回路的設定值。系統采用帶有前饋PV，主控回路的PID運行結果的輸出與前饋PV信號復合后作為主控回路的設定值，通過這樣對溫度變化進行梯度控制，保證系統的溫度精度。

高效換熱系統：系統采用管道式加熱冷卻，參與循環的液體非常少，制冷采用板式換熱器，，換熱效率高、結構緊湊，加熱采用管道式法蘭加熱器，整個系統的容積（板式換熱器容積+管道式加熱器容積+循環泵內容積+循環管路容積）。

控制重復性：基于高級動態控制系統，每次都能實現一致的控制結果，大大提升產品生產的穩定性。

產品外觀：外觀設計吸取國外進口產品的設計理念，采用大口徑石英玻璃液位計，液位計與操作屏放在同一側，觀察方便，風格簡約時尚，比列協調，專有的色彩搭配。

超高溫降溫技術：采用超高溫降溫技術，可以滿足在最高300℃高溫直接開啟壓縮機制冷降溫。

質量保障：所有的關鍵部件均選用進口品牌，確保產品長時間可靠運行。同時所有產品發貨前均經過嚴格測試與檢驗，確保設備到客戶現場不會出現任何問題。

普泰克溫控系列

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